Optimierung und Anwendung der Schwingquarzmesstechnik zur Untersuchung und Kontrolle der Atomlagenabscheidung【電子書籍】[ Martin Knaut ]

＜p＞Die Schwingquarzmesstechnik erm?glicht die ?berwachung, Untersuchung und Kontrolle des Schichtwachstums w?hrend der Herstellung d?nnster Schichten aus der Gasphase. Zur Optimierung und Anwendung der Schwingquarzmesstechnik f?r die Atomlagenabscheidung (atomic layer deposition - ALD) wurden die Grundlagen der Schichtdickenmessung mit Schwingquarzen analysiert und hinsichtlich der Besonderheiten bei der Verwendung in einem ALD-Prozess diskutiert. Die verschiedenen Einfl?sse auf die Resonanzfrequenz eines Schwingquarzes wurden ebenso wie die M?glichkeiten zur Optimierung der Messtechnik dargestellt. Der Einfluss von Temperaturschwankungen stellte sich dabei als besonders kritisch heraus, weshalb Schwingquarzmessk?pfe und Methoden zur Kompensation von temperaturbedingten St?rungen entwickelt wurden. Mit Hilfe der so optimierten Schwingquarzmesstechnik konnte ein ALD-Prozess f?r Hafniumoxidschichten vollst?ndig schwingquarzbasiert entwickelt werden, wobei mit geringem Zeitaufwand hundert．．．楽天市場のショップで商品詳細の続きを見る