表面新物質とエピタクシ- [ 日本物理学会 ]

日本物理学会 培風館ヒョウメン シンブッシツ ト エピタクシー ニホン ブツリ ガッカイ 発行年月：1992年12月01日 予約締切日：1992年11月24日 ページ数：262p サイズ：単行本 ISBN：9784563022129 1　エピタクシー研究の歴史／2　表面の理論／3　表面の相転移／4　GaAs表面および吸着層／5　金属およびSi表面におけるアルカリ金属吸着／6　走査トンネル顕微鏡と半導体表面の理論／7　走査トンネル顕微鏡によるSi表面の観察／8　電子顕微鏡法による表面構造の解析／9　電子顕微鏡によるエピタクシャル成長のその場観察／10　RHEEDの強度振動とエピタクシーの制御／11　電子線、X線分光によるエピタクシーの解析／12　イオン散乱分光によるエピタクシーのその場解析／13　半導体薄膜のエピタクシーとその制御／14　金属の多層膜の生成とその物性／15　酸化物超伝導体のエピタクシーとその表面・界面／16　気相からのダイヤモンド成長とエピタクシー 本書では、エピタクシーの最近までの発展経過を簡単に述べ、表面構造や表面の相転移について説明したのち、エピタクシー過程の代表的な研究方法と、それから得られる情報について解説する。
つぎに、次世代のエレクトロニクスを担う代表的な材料である半導体、金属、酸化物超伝導体、ダイヤモンド等をとり上げ、そのエピタクシャル成長や薄膜の制御方法、薄膜の物性について、最近の発展を中心に説明する。
本 科学・技術 物理学．．．楽天市場のショップで商品詳細の続きを見る